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Guangdong Ruile Semi technology Co.,Ltd

天游线路检测中心(以下简称“瑞乐科技”)成立于2016年,瑞乐科技是专业的晶圆测温系统和晶圆校准制造商,主要产品有TC Wafer晶圆测温系统、RTD Wafer晶圆测温系统(有线/无线)、On Wafer无线晶圆测温系统,AMS无线校准测量晶圆系统、ATS无线校准测量晶圆系统等,为半导体企业提供高精度的晶圆测温解决方案和晶圆校准测量解决方案。

主要测温应用场景包括:在半导体制程中的炉管、匀胶显影机、PVD chamber 、  CVD chamber、RTP/rta chamber 、去胶Strippers、静电卡盘(ESC)、加热板 Hot Plates、致冷盘 Cold Plates、后段探针台、绝缘材料等离子蚀刻(EtchTemp)、导体等离子蚀刻(EtchTemp-HD、EtchTemp SE-HD、EtchTemp-SE)等场景;校准测量场景包括:在半导体制程中全自动涂胶显影、全自动刻蚀、全自动退火炉、薄膜沉积、溅射、蚀刻、晶圆传输状态测量等。

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